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    高温半片自动化上下料机
    产品说明：

    扩散&LP自动化是一款将未工艺硅片从花篮取出插入到石英舟中，并将工艺后硅片插回花篮的设备。

    设备特性：

    1. 结构设计合理，产能高，尺寸小

    2. 陶瓷吸盘，吸盘具有导片涂层，大大减少静电吸附导致的碎片

    3. 离子发生器，除静电效果优异，且寿命提高一倍以上

    4. 防翘曲设计，针对BC半片硅片特点，卡片低、碎片少

    5. 各部件均做振动优化，减少硅片晃动导致的崩边

    产品参数：
    参数 参数值
    产能 24000半片/小时
    碎片率 ≤0.02%
    EL不良 ≤0.02%
    正常运行时间 98.5%